精密工程研究所

精密工程研究所成立于1996年，其前身为机械工程学院微型技术教研室、精密技术教研室。是机械工程和仪器科学与技术两个一级学科博士学位授权点和博士后流动站。2023年5月，为攻克高端仪器设备及核心零部件的关键共性“卡脖子”技术难题，培养创新型高层次领军人才，以精密工程研究所成员为主要班底，支持仪器科学与技术学科发展，成立了仪器科学与技术学院。

三十年来，在精密工程研究所所长蒋庄德院士领导下，面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康，开展微纳制造与智能传感技术、分子诊断科学仪器、纳米计量与测试技术、精密超精密加工技术与装备、精密测试技术与装备等方面的研究，先后承担了国家和国防各类重大重点项目及其它省部委科研项目数百项。先后获得国家技术发明二等奖3项，国家科技进步二等奖4项，省部级奖项30余项，发表论文1300余篇，授权发明专利340余项。

研究所师资团队包括中国工程院院士、国家特聘教授、教育部奖励计划特聘教授、国家杰青、国家卓青、中国青年科技奖特别奖获得者、万人领军、国家级青年人才计划、教育部新世纪人才、三秦学者、陕西省青年科技标兵和科技新星、中国科协青年人才托举计划、中国博士后创新人才支持计划等各类人才。承担多门本科和研究生的教学课程，其中部分课程为全英文授课，已指导毕业博士140余名、硕士470余名、博士后出站40余名，获全国百篇优秀博士学位论文1篇。在读硕士有220余人，在读博士有100余人。

一、研究团队与研究方向

精密工程研究所所长蒋庄德老师是西安交通大学机械工程学院教授、中国工程院院士、英国伯明翰大学名誉教授、澳大利亚新南威尔士大学客座教授。曾任十一、十二届全国人大常委、环境与资源保护委员会委员，西安交通大学副校长（2004年-2014年）。现任陕西省科协主席、精密微纳制造技术全国重点实验室主任、教育部科学技术委员会顾问、中国工程院机械与运载工程学部常委、国务院学位委员会机械学科评议组召集人、中国机械工程学会副理事长、中国微米纳米技术学会副理事长、中国工程院院刊《Engineering》机械与运载工程学科主编等。蒋老师长期从事微纳制造与先进传感技术、精密超精密加工与测试技术及装备等方面的研究，在高端MEMS传感器与核心芯片、纳米国家标准物质、大口径车磨复合加工机床、复杂型面精密超精密检测与仪器等技术领域做出了突出贡献，在微纳米技术相关基础理论、量子传感技术和生物检测技术及仪器等方面开展了创新性研究。获国家技术发明二等奖2项、国家科技进步二等奖2项，其他省部级奖励12项，并获光华工程科技奖、何梁何利科学与技术进步奖、首届全国创新争先奖、西安交通大学学位与研究生教育工作突出贡献奖、西安交通大学伯乐奖等。

在蒋庄德老师的带领下，精密工程研究所共成立了4个团队，分别是：微纳传感与测试创新团队（教育部创新团队）、智能传感芯片与系统团队、光学测量团队（陕西省重点科技创新团队）和精密超精密加工与检测技术及装备团队。

1.微纳传感与测试创新团队（教育部创新团队）

微纳传感与测试创新团队致力于MEMS/NEMS微传感器及执行器、微加工工艺、信号处理电路、智能传感器、新功能材料及工程应用等研究。团队主持各类项目100余项，发表论文400余篇、授权发明专利150余项。相关成果获得国家技术发明二等奖2项、省部级奖励6项，传感器产品在航空、航天、兵器集团、石油化工等领域的100余家单位取得有应用。赵玉龙教授担任团队负责人，团队中有教授2人，副教授/副研究员6人，助理教授1人。

研究方向如下：

2.智能传感芯片与系统团队

智能传感芯片与系统团队针对航空航天、能源、军工、医疗等环境下信息感知难题，开展微纳传感芯片及测试标定系统研发工作，主要研究方向包括薄膜温度传感器、高温及高精度压力传感器、微纳结构界面传热流动及热管理、测试系统及标定平台等。团队已发表论文200余篇，专利100余项，获国家及省部级奖励3项。田边教授担任团队负责人，团队中有教授3人，副研究员1人，助理教授3人。

研究方向如下：

3.光学测量团队（陕西省重点科技创新团队）

光学测量团队面向半导体芯片制造、工业母机等国家重大战略领域，开展微纳测量与光学检测基础理论研究、关键技术开发及仪器设备研制，主要研究方向包括：半导体晶圆量检测、超精密机床在机/原位测量、光学显微成像、结构光三维测量、深度学习图像识别、机器视觉、光电探测器等，团队已发表学术论文400余篇，授权发明专利100余件，获得国家级、省部级及行业学会科技奖10余项。杨树明教授担任团队负责人，团队中有教授3人、副教授/副研究员5人，助理教授1人。

研究方向如下：

4.精密超精密加工与检测技术及装备团队

精密超精密加工与检测技术及装备团队面向航空航天、军工等领域关键核心部件的制造与检测需求，开展精密超精密加工理论和装备和复杂曲面智能检测技术与仪器的基础理论研究、关键技术开发及仪器设备研制。主要方向包括：精密超精密检测技术与仪器、精密超精密加工与装备、多能场复合加工技术与装备、难加工材料超精密加工方法及装备。丁建军教授担任团队负责人，团队中有教授3人，副教授/副研究员4人，助理教授4人。

二、获奖奖项

精密工程研究所自成立以来，共获得国家技术发明二等奖3项、国家科技进步二等奖3项、省部级科技奖励16项。

三、优秀论文

自精密工程研究所成立以来，全所教师在不断创新中将传授知识与立德树人紧密结合起来，精密所共获优秀学位论文20余篇，其中1篇获全国优秀博士学位论文。

序号	项目	论文名称	时间	研究生姓名	导师
1	全国优秀博士学位论文	基于微纳加工电化学超微电极制备与表征新方法研究	2009年	朱明智	蒋庄德
2	第二届上银优秀机械博士论文优秀奖	基于多模式单演特征检测与匹配的二维视觉测量技术研究	2013年	李进军	赵宏
3	陕西省优秀学位论文	基于多模式单演特征检测与匹配的三维视觉测量技术研究	2013年	李进军	赵宏
4	陕西省优秀博士学位论文	三维微流控芯片的飞秒激光制备技术及应用	2015年	柳克银	赵玉龙
5	中国仪器仪表学会全国优秀博士论文提名奖	电容式微加工超声传感器的关键技术研究	2019年	李支康	蒋庄德
6	西安交通大学优秀学位论文	液晶空间光调制器相位调制特性测量及波前控制研究	2018年	肖昭贤	赵宏
7	西安交通大学优秀学位论文	高离子导电性的硅磷酸锂混合薄膜及其在CO2/SO2传感器中的应用研究	2018年	张咪	王海容
8	西安交通大学优秀学位论文	Li2CO3掺MOO3与Li2CO应用研究	2019年	陈翰林	王海容
9	西安交通大学优秀学位论文	基于微色谱的便携式疾病检测仪的研制	2021年	陈家洛	王海容
10	西安交通大学优秀学位论文	基于MEMS技术的探针式金属—半导体型薄膜热电偶温度传感器研究	2021年	刘延	田边
11	第11届上银优秀机械博士 论文奖佳作奖	压电式微加工超声传感器的关键技术研究	2022年	徐廷中	蒋庄德
12	陕西省优秀博士学位论文	面向可穿戴设备的柔性力敏传感器的制备及传感器特性研究	2022年	唐振华	贾书海
13	西安交通大学优秀学位论文	ZnO掺杂Al2O3的高响应MEMS甲醛气体传感器研制	2022年	张铭	王海容
14	西安交通大学优秀学位论文	高导电、可透气的聚氨酯纤维基可拉伸电极制造及其应用研究	2022年	张乾坤	罗国希
15	西安交通大学优秀学位论文	高功率激光系统污染颗粒诱导溶石英元件损伤研究	2022年	李雨菡	王海容
16	西安交通大学优秀学位论文	基于Pd-Au合金薄膜的MEMS氢气传感器研制	2023年	弓瑨	王海容
17	西安交通大学优秀学位论文	基于多级微结构的高性能柔性压力传感器研究	2023年	张雨菁	蒋庄德
18	西安交通大学优秀学位论文	基于多孔薄膜的高灵敏度MEMS乙醇气体传感器研制	2023年	曹慧通	王海容
19	西安交通大学优秀学位论文	基于GelMA水凝胶的自愈合柔性触觉传感器制备与应用研究	2024年	芦继健	李支康
20	西安交通大学优秀学位论文	面相高反光表面的线激光高精度三维测量技术研究	2024年	孟亚云	杨树明
21	西安交通大学优秀学位论文	基于干涉光谱与色散共焦的复合式厚度测量技术研究	2024年	武娟娟	刘涛
22	第十四届上银优博论文奖	压阻式微加工碳化硅高温压力传感器关键技术研究	2024年	吴晨	蒋庄德
23	仪器仪表学会全国优秀博士论文	压阻式微加工碳化硅高温压力传感器关键技术研究	2024年	吴晨	蒋庄德
24	西安交通大学优秀学位论文	面向六氟化硫电气设备状态气体的原位检测系统	2025年	李腾飞	王海容
25	西安交通大学优秀学位论文	基于伪昱常增强与图像重构的高速带钢表面缺陷检测技术研究	2025年	金柳亦	李兵

四、精密工程研究所实验室环境

兴庆校区南一楼

精密微纳制造技术全国重点实验室

创新港校区2号巨构

实验室

实验室

高端制造装备协同创新中心

五、国际合作与联合培养

精密工程研究所重视国际合作交流，建立国际化的创新团队，取得原始创新成果。依托西安交通大学精密微纳制造技术全国重点实验室，与英国伯明翰大学和澳大利亚新南威尔士大学等学校长期合作，围绕微纳制造与测试技术领域中的重大科学问题和技术难题，针对微纳米技术产业发展中的关键共性技术难题，全面开展国际科研合作，汇聚海外高端人才，培养了一批高层次创新人才，荣获教育部“微纳制造与测试技术国际合作联合实验室”和“微纳制造与纳米测试技术”学科创新引智基地。

与此同时精密工程研究所与英国伯明翰大学、澳大利亚新南威尔士大学等国际著名高校签订了人才培养计划，积极培养国际化人才。目前，已有博士生分别获得西安交通大学和新南威尔士大学、西安交通大学和香港城市大学双博士学位。