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短期访问硕士研究生蒋康力回国报告会

发布时间:2020-06-03 点击数:




汇报题目:基于Fabry-Perot式的MEMS红外滤波器非理想表面研究。

汇报时间:202063日(星期三) 15:00

汇报地点:机械制造国家重点实验室A404

人:蒋康力


留学学校:The University of Western Australia


师:韦学勇 教授


国外导师:Mariusz Martyniuk


报告摘要:红外滤波器,它可以分为近红外、中红外和远红外,能用在很多检测场所。在工业领域,可以用来气体检测、火灾检测、矿物检测等;在农业领域可以用来检测植物健康、土壤水分、土壤有机质分析等。微机电系统(MEMS)技术成本低、便携性好、同时精度高,将MEMS和红外滤波器相结合能够充分发挥MEMS的优势,获得一种高性能的红外滤波器同时成本更低、尺寸更小。本报告所研究的MEMS红外滤波器采用Fabry-Perot的光学原理和分布布拉格反射镜(DBR)的材料技术,利用微纳加工工艺制备而成。然而实际加工出来的芯片往往和理想中的有一定的差距,主要体现在加工误差带来的不平整性,包括粗糙、倾斜,和器件的不对称性带来的一定程度的偏转,从而会影响滤波器的输出性能。本报告针对这一问题,对这种非理想的不平整状态进行仿真分析,并对加工后的芯片进行测试,通过测试其主要性能指标:输出中心波长、透射率和FWHM(半峰值全宽度值),分析其性能受影响程度,并为之后的制备提供参考和改进的建议。


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