陕西省微型机械电子系统研究中心成立于2001年3月，挂牌于西安交通大学精密工程研究所，田边教授任中心主任，方续东教授、杨旭教授任中心副主任，张仲恺任中心秘书。依托西安交通大学、航空618所、航天六院、206所等多家单位在不同的应用领域开展了MEMS器件、半导体工艺装备、测试标定技术等研究。陕西省微型机械电子系统研究中心作为组织协调机构推动陕西省的MEMS研究，发挥各单位的技术优势，取长补短，防止低水平重复研究；建立以大专院校及科研院所为龙头，以IC企业为骨干，产研学紧密结合的若干个国家级MEMS发展基地；使陕西省MEMS研究基础或西部地区的MEMS研究提高到较高的水平，为进一步争取国家级的MEMS研发中心打下坚实的基础，创造良好的条件。该中心拥有MEMS洁净室、各种MEMS加工设备（包括LPCVD、ICP、PECV、MCP等设备）、MEMS软件平台CoventorWare。现主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作。已申请专利50余项，发表高水平科技论文百余篇。代表性成果包括超高温温度、压力、热流传感器、半导体晶圆超精密抛光技术及装备等。
